有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。下面介紹幾種比較常用的方法：

1、活性炭吸附法

廢氣處理設備活性炭吸附法是利用活性炭內(nèi)部的微孔，將廢氣中的一種或幾種組分濃集在固體表面，從而與其它組分分開。對于揮發(fā)性有機組份的處理活性炭吸附是一種經(jīng)濟有效的工藝，它有高的吸附效率，大的適應范圍。廢氣處理但活性炭再生工藝較復雜，投資較高。

2、燃燒法

廢氣處理設備用燃燒方法消除有害氣體、蒸氣或煙塵，使其變?yōu)闊o害物質(zhì)的過程，稱為燃燒凈化，燃燒凈化時所發(fā)生的化學作用高要是燃燒氧化作用及高溫下的熱分解。有機氣態(tài)污染物燃燒氧化的結(jié)果，生成了CO2和H2O。燃燒凈化方法分為直接燃燒和熱力燃燒。

3.催化燃燒法

廢氣處理設備催化燃燒是典型的氣-固相催化反應，其實質(zhì)是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發(fā)生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能。該工藝具有處理效率高，無二次污染。但該工藝投資較大，對有機廢氣的有機物的濃度有一定的要求及經(jīng)營管理與操作水平要求較高等缺點。因此在選用中受到了相應的限制。